Magnetronförstoftningsteknik (PVD) är en av nyckelteknologierna för framställning av tunnfilmsmaterial. Hög-renhet för titanförstoftningsmålmaterial är viktiga förbrukningsmaterial i magnetronförstoftningsprocessen och har breda marknadstillämpningsmöjligheter. Som ett hög-värde-beläggningsmaterial har titanmålmaterial strikta krav när det gäller kemisk renhet, mikrostruktur och prestanda, och de är mycket tekniska och svåra att bearbeta.
Magnetronförstoftande titanmålmaterial används huvudsakligen inom elektronik- och informationsindustrin, såsom integrerade kretsar, platta bildskärmar och dekorativa beläggningsfält inom heminrednings- och bilindustrin, såsom dekorativ beläggning av glas och dekorativ beläggning för hjulnav, som visas i figur 1. Kraven på titanmålmaterial i olika industrier varierar också mycket, huvudsakligen inklusive dimensionell noggrannhet, mikrostruktur, mikrostruktur. Renheten hos titanmålmaterial för integrerade kretsar är huvudsakligen över 99,995 %, och för närvarande är de huvudsakligen beroende av import. På marknaden för titanmålmaterial som används i platta bildskärmar är marknaden för flytande kristaller (LCD) den största och står för mer än 90 %. LCD anses vara den mest lovande plattskärmsenheten för närvarande. Dess uppkomst har avsevärt utökat applikationsområdet för bildskärmar, från bärbara datorskärmar, stationära datorskärmar,-högupplöst LCD-TV till mobil kommunikation. Olika nya LCD-produkter påverkar människors levnadsvanor och driver den snabba utvecklingen av världens informationsindustri.
Renheten hos titanmålmaterial har en betydande inverkan på prestandan hos sputtrade filmer. Ju högre renhet, desto färre föroreningselementpartiklar i den sputtrade titanfilmen, vilket resulterar i bättre filmprestanda, inklusive bättre korrosionsbeständighet och elektriska och optiska egenskaper. I allmänhet har titanmålmaterial en polykristallin struktur, med kornstorlekar som sträcker sig från mikrometer till millimeter. Finkorniga-målmaterial har en snabbare sputterhastighet än grovkorniga-. För mål med liknande kornstorlekar på förstoftningsytan är tjockleksfördelningen av den förstoftade avsatta filmen också mer enhetlig.
